多通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)適用于低壓小流量，多種氣體單一/混合連續(xù)供氣系統(tǒng)。尤其方便多種氣體的切換使用，而不會造成大氣進入加熱管。氣體壓力和流量數(shù)據(jù)在同一平面直觀可讀，外形美觀、實用，操作簡便。
多通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)是一款低成本多路質(zhì)量流量計控制系統(tǒng)，其質(zhì)量流量計和不銹鋼混氣罐都安裝在一個移動柜里，移動柜最大可以承重1000Lbs，與本公司大多數(shù)管式爐配套使用時，可將管式爐置于移動柜上以節(jié)約空間。各通道氣路的流量設(shè)定和狀態(tài)顯示都集中在一6"的LCD觸摸屏上，便與操控的同時，可實時查看氣體流量曲線和數(shù)據(jù)。此款設(shè)備廣泛的用于材料界中CVD或PECVD實驗和各種材料的退火實驗。
多通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)適用于低壓小流量，多種氣體單一/混合連續(xù)供氣系統(tǒng)。尤其方便多種氣體的切換使用，而不會造成大氣進入加熱管。
氣體壓力和流量數(shù)據(jù)在同一平面直觀可讀，外形美觀、實用，操作簡便。
采用觸摸屏來控制氣體的流量，顯示流量準(zhǔn)確，方便操作。
所有儀表及閥門的連接均采用活接頭連接，便于維修拆卸。
PLC觸摸屏
各通道的氣路設(shè)定和查看都集中在一6"的觸摸屏上
RS485通訊接口和PC控溫軟件可以連接到電腦上，進行遠程控制，（可選）
機械壓力表
有一機械壓力表安裝于前面板上，與混氣罐相連接
量程:-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid)
通氣管道
內(nèi)部連接管道為1/4”不銹鋼管
外部通氣管道為1/4”聚四氟管
混氣罐
Φ80X120mm
截止閥及配件
316/304不銹鋼針閥
Φ1/4”不銹鋼管
氣體從鋼瓶出來，經(jīng)過減壓閥減壓，通過四氟管到供氣系統(tǒng)的入口，再經(jīng)過質(zhì)子流量計控制氣體流量，然后經(jīng)過混氣罐，再進入爐子進氣口，氣體從出氣管出來，經(jīng)過三通閥門，一端連接，一端連接出氣口。
混氣罐上接有壓力表，壓力表顯數(shù)盤與質(zhì)子流量計安裝在同一面板上。
每一條氣體管路均有一個高壓截止閥，安全有保證。
該氣路采用高精度氣體浮子流量計，氣路內(nèi)部全采用四氟管，耐腐蝕性好。
所有接頭采用卡套連接，氣密性好，耐壓高。
產(chǎn)品名稱 | 四路質(zhì)子氣體流量計 |
流量計類型 | 質(zhì)子流量計 |
流量計管芯 | 304不銹鋼 |
調(diào)節(jié)閥類型 | 電磁調(diào)節(jié)閥 |
管道常態(tài) | 常閉 |
流量計外殼 | 黑色鋁殼 |
氣體種類 | 4種 |
接口尺寸 | 1/4" |
測量精度 | ±1.0%F.S |
線性度 | ±0.5%F.S |
重復(fù)精度 | ±0.2%F.S |
壓力范圍 | -0.1-0.15 MPa |
A路氣體測量范圍 | 0～100SCCM |
B路氣體測量范圍 | 0～200SCCM |
C路氣體測量范圍 | 0～500SCCM |
流量控制范圍 | 2%～100% |
零點溫漂 | 0.6F.S(15～35℃) |
響應(yīng)時間 | 2S |
工作環(huán)境溫度 | (15～50℃) |
精度保證溫度 | (15～35℃) |
供電電源 | 220V 50Hz |
外形尺寸 | L800×W600×H580 |
設(shè)備重量 | 63kg |
多通道質(zhì)子流量計控制供氣系統(tǒng)內(nèi)部壓力不能過大，不然容易造成漏氣，只要氣體能正常流出來即可。質(zhì)量流量計技術(shù)參數(shù)：質(zhì)子流量控制器普通型，模擬電路，橡膠密封，管狀分流，不易堵塞。
多通道質(zhì)子流量計控制供氣系統(tǒng)的配置：
質(zhì)子流量計：4個
壓力表：1個
截止閥門：5個
穿板接頭：5個
閥門接頭：2個
鋼瓶接頭: 4個
聚四氟乙烯管：20M
混氣罐：1個
爐架：1臺
多通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)應(yīng)用范圍：
1.用于半導(dǎo)體制造行業(yè)中氣體流量控制
2.用于各種真空鍍膜設(shè)備
3.用于材料表面處理
4.用于氣體燃燒控制
5.用于混和配氣系統(tǒng)
6.用于泄漏探測系統(tǒng)
7.用于環(huán)境檢測與分析設(shè)備
8.用于分析儀器的氣體流量計量與控制
9.用于化工、石化、冶金、光纖熔煉等需要氣體檢測和控制的場所
多通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)常用尺寸規(guī)格參數(shù)：
產(chǎn)品 | 二通道 | 三通道 | 四通道 | 五通道 |
工作溫度 | 5-45℃ | 5-45℃ | 5-45℃ | 5-45℃ |
最大壓力 | 3*10^6 Pa | 3*10^6 Pa | 3*10^6 Pa | 3*10^6 Pa |
精度 | ±1.5% FS | ±1.5% FS | ±1.5% FS | ±1.5% FS |
重復(fù)精度 | ±0.2%FS | ±0.2%FS | ±0.2%FS | ±0.2%FS |
流量范圍 | 一路：1~199 SCCM 二路：1~199 SCCM | 一路：0~100 SCCM 二路：1~199 SCCM 三路：1~499 SCCM | 一路：0~100 SCCM 二路：1~199 SCCM 三路：1~199 SCCM 四路：1~499 SCCM | 一路：0~100 SCCM 二路：1~199 SCCM 三路：1~199 SCCM 四路：1~499 SCCM |
注意 | 其他流量范圍的可定制（0~100 、1~200 、1~500 、1~1000 、1~2000 、1~5000 SCCM），需額外費用 | 五-九路可按照客戶要求定制 | ||
多通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)是一款低成本多路質(zhì)量流量計控制系統(tǒng)，其質(zhì)量流量計和不銹鋼混氣罐都安裝在一個移動柜里，移動柜最大可以承重1000Lbs，與本公司大多數(shù)管式爐配套使用時，可將管式爐置于移動柜上以節(jié)約空間。各通道氣路的流量設(shè)定和狀態(tài)顯示都集中在一6"的LCD觸摸屏上，便與操控的同時，可實時查看氣體流量曲線和數(shù)據(jù)。此款設(shè)備廣泛的用于材料界中CVD或PECVD實驗和各種材料的退火實驗。
多通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)適用于低壓小流量，多種氣體單一/混合連續(xù)供氣系統(tǒng)。尤其方便多種氣體的切換使用，而不會造成大氣進入加熱管。
氣體壓力和流量數(shù)據(jù)在同一平面直觀可讀，外形美觀、實用，操作簡便。
采用觸摸屏來控制氣體的流量，顯示流量準(zhǔn)確，方便操作。
所有儀表及閥門的連接均采用活接頭連接，便于維修拆卸。
PLC觸摸屏
各通道的氣路設(shè)定和查看都集中在一6"的觸摸屏上
RS485通訊接口和PC控溫軟件可以連接到電腦上，進行遠程控制，（可選）
機械壓力表
有一機械壓力表安裝于前面板上，與混氣罐相連接
量程:-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid)
通氣管道
內(nèi)部連接管道為1/4”不銹鋼管
外部通氣管道為1/4”聚四氟管
混氣罐
Φ80X120mm
截止閥及配件
316/304不銹鋼針閥
Φ1/4”不銹鋼管
氣體從鋼瓶出來，經(jīng)過減壓閥減壓，通過四氟管到供氣系統(tǒng)的入口，再經(jīng)過質(zhì)子流量計控制氣體流量，然后經(jīng)過混氣罐，再進入爐子進氣口，氣體從出氣管出來，經(jīng)過三通閥門，一端連接，一端連接出氣口。
混氣罐上接有壓力表，壓力表顯數(shù)盤與質(zhì)子流量計安裝在同一面板上。
每一條氣體管路均有一個高壓截止閥，安全有保證。
該氣路采用高精度氣體浮子流量計，氣路內(nèi)部全采用四氟管，耐腐蝕性好。
所有接頭采用卡套連接，氣密性好，耐壓高。
產(chǎn)品名稱 | 四路質(zhì)子氣體流量計 |
流量計類型 | 質(zhì)子流量計 |
流量計管芯 | 304不銹鋼 |
調(diào)節(jié)閥類型 | 電磁調(diào)節(jié)閥 |
管道常態(tài) | 常閉 |
流量計外殼 | 黑色鋁殼 |
氣體種類 | 4種 |
接口尺寸 | 1/4" |
測量精度 | ±1.0%F.S |
線性度 | ±0.5%F.S |
重復(fù)精度 | ±0.2%F.S |
壓力范圍 | -0.1-0.15 MPa |
A路氣體測量范圍 | 0～100SCCM |
B路氣體測量范圍 | 0～200SCCM |
C路氣體測量范圍 | 0～500SCCM |
流量控制范圍 | 2%～100% |
零點溫漂 | 0.6F.S(15～35℃) |
響應(yīng)時間 | 2S |
工作環(huán)境溫度 | (15～50℃) |
精度保證溫度 | (15～35℃) |
供電電源 | 220V 50Hz |
外形尺寸 | L800×W600×H580 |
設(shè)備重量 | 63kg |
多通道質(zhì)子流量計控制供氣系統(tǒng)內(nèi)部壓力不能過大，不然容易造成漏氣，只要氣體能正常流出來即可。質(zhì)量流量計技術(shù)參數(shù)：質(zhì)子流量控制器普通型，模擬電路，橡膠密封，管狀分流，不易堵塞。
多通道質(zhì)子流量計控制供氣系統(tǒng)的配置：
質(zhì)子流量計：4個
壓力表：1個
截止閥門：5個
穿板接頭：5個
閥門接頭：2個
鋼瓶接頭: 4個
聚四氟乙烯管：20M
混氣罐：1個
爐架：1臺
多通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)應(yīng)用范圍：
1.用于半導(dǎo)體制造行業(yè)中氣體流量控制
2.用于各種真空鍍膜設(shè)備
3.用于材料表面處理
4.用于氣體燃燒控制
5.用于混和配氣系統(tǒng)
6.用于泄漏探測系統(tǒng)
7.用于環(huán)境檢測與分析設(shè)備
8.用于分析儀器的氣體流量計量與控制
9.用于化工、石化、冶金、光纖熔煉等需要氣體檢測和控制的場所
多通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)常用尺寸規(guī)格參數(shù)：
產(chǎn)品 | 二通道 | 三通道 | 四通道 | 五通道 |
工作溫度 | 5-45℃ | 5-45℃ | 5-45℃ | 5-45℃ |
最大壓力 | 3*10^6 Pa | 3*10^6 Pa | 3*10^6 Pa | 3*10^6 Pa |
精度 | ±1.5% FS | ±1.5% FS | ±1.5% FS | ±1.5% FS |
重復(fù)精度 | ±0.2%FS | ±0.2%FS | ±0.2%FS | ±0.2%FS |
流量范圍 | 一路：1~199 SCCM 二路：1~199 SCCM | 一路：0~100 SCCM 二路：1~199 SCCM 三路：1~499 SCCM | 一路：0~100 SCCM 二路：1~199 SCCM 三路：1~199 SCCM 四路：1~499 SCCM | 一路：0~100 SCCM 二路：1~199 SCCM 三路：1~199 SCCM 四路：1~499 SCCM |
注意 | 其他流量范圍的可定制（0~100 、1~200 、1~500 、1~1000 、1~2000 、1~5000 SCCM），需額外費用 | 五-九路可按照客戶要求定制 | ||
多通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)是一款低成本多路質(zhì)量流量計控制系統(tǒng)，其質(zhì)量流量計和不銹鋼混氣罐都安裝在一個移動柜里，移動柜最大可以承重1000Lbs，與本公司大多數(shù)管式爐配套使用時，可將管式爐置于移動柜上以節(jié)約空間。各通道氣路的流量設(shè)定和狀態(tài)顯示都集中在一6"的LCD觸摸屏上，便與操控的同時，可實時查看氣體流量曲線和數(shù)據(jù)。此款設(shè)備廣泛的用于材料界中CVD或PECVD實驗和各種材料的退火實驗。
多通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)適用于低壓小流量，多種氣體單一/混合連續(xù)供氣系統(tǒng)。尤其方便多種氣體的切換使用，而不會造成大氣進入加熱管。
氣體壓力和流量數(shù)據(jù)在同一平面直觀可讀，外形美觀、實用，操作簡便。
采用觸摸屏來控制氣體的流量，顯示流量準(zhǔn)確，方便操作。
所有儀表及閥門的連接均采用活接頭連接，便于維修拆卸。
PLC觸摸屏
各通道的氣路設(shè)定和查看都集中在一6"的觸摸屏上
RS485通訊接口和PC控溫軟件可以連接到電腦上，進行遠程控制，（可選）
機械壓力表
有一機械壓力表安裝于前面板上，與混氣罐相連接
量程:-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid)
通氣管道
內(nèi)部連接管道為1/4”不銹鋼管
外部通氣管道為1/4”聚四氟管
混氣罐
Φ80X120mm
截止閥及配件
316/304不銹鋼針閥
Φ1/4”不銹鋼管
氣體從鋼瓶出來，經(jīng)過減壓閥減壓，通過四氟管到供氣系統(tǒng)的入口，再經(jīng)過質(zhì)子流量計控制氣體流量，然后經(jīng)過混氣罐，再進入爐子進氣口，氣體從出氣管出來，經(jīng)過三通閥門，一端連接，一端連接出氣口。
混氣罐上接有壓力表，壓力表顯數(shù)盤與質(zhì)子流量計安裝在同一面板上。
每一條氣體管路均有一個高壓截止閥，安全有保證。
該氣路采用高精度氣體浮子流量計，氣路內(nèi)部全采用四氟管，耐腐蝕性好。
所有接頭采用卡套連接，氣密性好，耐壓高。
產(chǎn)品名稱 | 四路質(zhì)子氣體流量計 |
流量計類型 | 質(zhì)子流量計 |
流量計管芯 | 304不銹鋼 |
調(diào)節(jié)閥類型 | 電磁調(diào)節(jié)閥 |
管道常態(tài) | 常閉 |
流量計外殼 | 黑色鋁殼 |
氣體種類 | 4種 |
接口尺寸 | 1/4" |
測量精度 | ±1.0%F.S |
線性度 | ±0.5%F.S |
重復(fù)精度 | ±0.2%F.S |
壓力范圍 | -0.1-0.15 MPa |
A路氣體測量范圍 | 0～100SCCM |
B路氣體測量范圍 | 0～200SCCM |
C路氣體測量范圍 | 0～500SCCM |
流量控制范圍 | 2%～100% |
零點溫漂 | 0.6F.S(15～35℃) |
響應(yīng)時間 | 2S |
工作環(huán)境溫度 | (15～50℃) |
精度保證溫度 | (15～35℃) |
供電電源 | 220V 50Hz |
外形尺寸 | L800×W600×H580 |
設(shè)備重量 | 63kg |
多通道質(zhì)子流量計控制供氣系統(tǒng)內(nèi)部壓力不能過大，不然容易造成漏氣，只要氣體能正常流出來即可。質(zhì)量流量計技術(shù)參數(shù)：質(zhì)子流量控制器普通型，模擬電路，橡膠密封，管狀分流，不易堵塞。
多通道質(zhì)子流量計控制供氣系統(tǒng)的配置：
質(zhì)子流量計：4個
壓力表：1個
截止閥門：5個
穿板接頭：5個
閥門接頭：2個
鋼瓶接頭: 4個
聚四氟乙烯管：20M
混氣罐：1個
爐架：1臺
多通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)應(yīng)用范圍：
1.用于半導(dǎo)體制造行業(yè)中氣體流量控制
2.用于各種真空鍍膜設(shè)備
3.用于材料表面處理
4.用于氣體燃燒控制
5.用于混和配氣系統(tǒng)
6.用于泄漏探測系統(tǒng)
7.用于環(huán)境檢測與分析設(shè)備
8.用于分析儀器的氣體流量計量與控制
9.用于化工、石化、冶金、光纖熔煉等需要氣體檢測和控制的場所
多通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)常用尺寸規(guī)格參數(shù)：
產(chǎn)品 | 二通道 | 三通道 | 四通道 | 五通道 |
工作溫度 | 5-45℃ | 5-45℃ | 5-45℃ | 5-45℃ |
最大壓力 | 3*10^6 Pa | 3*10^6 Pa | 3*10^6 Pa | 3*10^6 Pa |
精度 | ±1.5% FS | ±1.5% FS | ±1.5% FS | ±1.5% FS |
重復(fù)精度 | ±0.2%FS | ±0.2%FS | ±0.2%FS | ±0.2%FS |
流量范圍 | 一路：1~199 SCCM 二路：1~199 SCCM | 一路：0~100 SCCM 二路：1~199 SCCM 三路：1~499 SCCM | 一路：0~100 SCCM 二路：1~199 SCCM 三路：1~199 SCCM 四路：1~499 SCCM | 一路：0~100 SCCM 二路：1~199 SCCM 三路：1~199 SCCM 四路：1~499 SCCM |
注意 | 其他流量范圍的可定制（0~100 、1~200 、1~500 、1~1000 、1~2000 、1~5000 SCCM），需額外費用 | 五-九路可按照客戶要求定制 | ||
多通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)是一款低成本多路質(zhì)量流量計控制系統(tǒng)，其質(zhì)量流量計和不銹鋼混氣罐都安裝在一個移動柜里，移動柜最大可以承重1000Lbs，與本公司大多數(shù)管式爐配套使用時，可將管式爐置于移動柜上以節(jié)約空間。各通道氣路的流量設(shè)定和狀態(tài)顯示都集中在一6"的LCD觸摸屏上，便與操控的同時，可實時查看氣體流量曲線和數(shù)據(jù)。此款設(shè)備廣泛的用于材料界中CVD或PECVD實驗和各種材料的退火實驗。
多通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)適用于低壓小流量，多種氣體單一/混合連續(xù)供氣系統(tǒng)。尤其方便多種氣體的切換使用，而不會造成大氣進入加熱管。
氣體壓力和流量數(shù)據(jù)在同一平面直觀可讀，外形美觀、實用，操作簡便。
采用觸摸屏來控制氣體的流量，顯示流量準(zhǔn)確，方便操作。
所有儀表及閥門的連接均采用活接頭連接，便于維修拆卸。
PLC觸摸屏
各通道的氣路設(shè)定和查看都集中在一6"的觸摸屏上
RS485通訊接口和PC控溫軟件可以連接到電腦上，進行遠程控制，（可選）
機械壓力表
有一機械壓力表安裝于前面板上，與混氣罐相連接
量程:-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid)
通氣管道
內(nèi)部連接管道為1/4”不銹鋼管
外部通氣管道為1/4”聚四氟管
混氣罐
Φ80X120mm
截止閥及配件
316/304不銹鋼針閥
Φ1/4”不銹鋼管
氣體從鋼瓶出來，經(jīng)過減壓閥減壓，通過四氟管到供氣系統(tǒng)的入口，再經(jīng)過質(zhì)子流量計控制氣體流量，然后經(jīng)過混氣罐，再進入爐子進氣口，氣體從出氣管出來，經(jīng)過三通閥門，一端連接，一端連接出氣口。
混氣罐上接有壓力表，壓力表顯數(shù)盤與質(zhì)子流量計安裝在同一面板上。
每一條氣體管路均有一個高壓截止閥，安全有保證。
該氣路采用高精度氣體浮子流量計，氣路內(nèi)部全采用四氟管，耐腐蝕性好。
所有接頭采用卡套連接，氣密性好，耐壓高。
產(chǎn)品名稱 | 四路質(zhì)子氣體流量計 |
流量計類型 | 質(zhì)子流量計 |
流量計管芯 | 304不銹鋼 |
調(diào)節(jié)閥類型 | 電磁調(diào)節(jié)閥 |
管道常態(tài) | 常閉 |
流量計外殼 | 黑色鋁殼 |
氣體種類 | 4種 |
接口尺寸 | 1/4" |
測量精度 | ±1.0%F.S |
線性度 | ±0.5%F.S |
重復(fù)精度 | ±0.2%F.S |
壓力范圍 | -0.1-0.15 MPa |
A路氣體測量范圍 | 0～100SCCM |
B路氣體測量范圍 | 0～200SCCM |
C路氣體測量范圍 | 0～500SCCM |
流量控制范圍 | 2%～100% |
零點溫漂 | 0.6F.S(15～35℃) |
響應(yīng)時間 | 2S |
工作環(huán)境溫度 | (15～50℃) |
精度保證溫度 | (15～35℃) |
供電電源 | 220V 50Hz |
外形尺寸 | L800×W600×H580 |
設(shè)備重量 | 63kg |
多通道質(zhì)子流量計控制供氣系統(tǒng)內(nèi)部壓力不能過大，不然容易造成漏氣，只要氣體能正常流出來即可。質(zhì)量流量計技術(shù)參數(shù)：質(zhì)子流量控制器普通型，模擬電路，橡膠密封，管狀分流，不易堵塞。
多通道質(zhì)子流量計控制供氣系統(tǒng)的配置：
質(zhì)子流量計：4個
壓力表：1個
截止閥門：5個
穿板接頭：5個
閥門接頭：2個
鋼瓶接頭: 4個
聚四氟乙烯管：20M
混氣罐：1個
爐架：1臺
多通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)應(yīng)用范圍：
1.用于半導(dǎo)體制造行業(yè)中氣體流量控制
2.用于各種真空鍍膜設(shè)備
3.用于材料表面處理
4.用于氣體燃燒控制
5.用于混和配氣系統(tǒng)
6.用于泄漏探測系統(tǒng)
7.用于環(huán)境檢測與分析設(shè)備
8.用于分析儀器的氣體流量計量與控制
9.用于化工、石化、冶金、光纖熔煉等需要氣體檢測和控制的場所
多通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)常用尺寸規(guī)格參數(shù)：
產(chǎn)品 | 二通道 | 三通道 | 四通道 | 五通道 |
工作溫度 | 5-45℃ | 5-45℃ | 5-45℃ | 5-45℃ |
最大壓力 | 3*10^6 Pa | 3*10^6 Pa | 3*10^6 Pa | 3*10^6 Pa |
精度 | ±1.5% FS | ±1.5% FS | ±1.5% FS | ±1.5% FS |
重復(fù)精度 | ±0.2%FS | ±0.2%FS | ±0.2%FS | ±0.2%FS |
流量范圍 | 一路：1~199 SCCM 二路：1~199 SCCM | 一路：0~100 SCCM 二路：1~199 SCCM 三路：1~499 SCCM | 一路：0~100 SCCM 二路：1~199 SCCM 三路：1~199 SCCM 四路：1~499 SCCM | 一路：0~100 SCCM 二路：1~199 SCCM 三路：1~199 SCCM 四路：1~499 SCCM |
注意 | 其他流量范圍的可定制（0~100 、1~200 、1~500 、1~1000 、1~2000 、1~5000 SCCM），需額外費用 | 五-九路可按照客戶要求定制 | ||
